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圖文解析OLED蒸鍍工藝與FMM實際工藝原理

時間:2017-06-09 15:29 來源:未知 點擊:

小分子材料使用真空蒸鍍法成膜,而真空蒸鍍法又分為電阻加熱蒸鍍法、電子束蒸鍍法等。

電阻加熱蒸鍍法是在真空蒸鍍機中放入盛有有機物的坩堝

通過對其內部的電阻絲通電加熱

使有機材料蒸發或氣化

然后像固定的基板附著并最終成膜

電子束蒸鍍法是利用電子束照射下的非常強的能量

使靶材加熱升華或者蒸發

這是一種結構非常堅固的方法

 

 

 

 

 


 

 


 

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